报告导读：本报告从国际残余气体分析仪行业发展、国内残余气体分析仪行业政策环境及发展、研发动态、供需情况、重点生产企业、存在的问题及对策等多方面多角度阐述了残余气体分析仪行业市场的发展，并在此基础上对残余气体分析仪行业的发展前景作出了科学的预测，最后对残余气体分析仪行业投资潜力进行了分析。

制作单位：肇庆市彦心商务咨询服务有限公司（彦心咨询）

全文链接：https://www.yxresearch.com/

1 残余气体分析仪市场概述

1.1 产品定义

残余气体分析仪（RGA）是一种能有效测量低压环境中存在的气体化学成分的质谱仪。可帮助确定残留在不完全真空室中的物质的组成。一个典型的现代残余气体分析仪用灯丝中的电子电离真空室中的一些气体。然后，离子被导入一个四极质量过滤器，该过滤器使用电场只通过特定质量的离子。然后，离子的流动电荷被检测为电流。通过改变质量滤波器中的电场并记录到检测器的合成电流，得到了一个质谱。由离子发生器、四极质量过滤器、探测器和电真空馈通组成的传感器探头安装在真空室中。电子封装与电源线的大气侧和计算机相连。例如，一个RGA安装在真空室上，并在2.2x10 -8 Torr产生以下频谱。

以上成分的分析与监控其目的是反应腔体内的工艺条件，获知物理数据以达到质量控制，改善工艺过程的关键因素，以及失败分析等等。此外其目的还体现在可减少湿洗过程中的回复时间，优化维护工艺管理循环等等。以上多种因素，互相影响与作用最终可实现质量与良率的提升，提高实际生产工作时间，减少成本浪费改善产出率。

9.5 中国市场未来发展的有利因素、不利因素分析

有利因素：

残余气体分析仪包括最大限度地降低晶圆和面板保护的总拥有成本。此外，它提供最低水平的空气泄漏，并保护过程的即时和关键需求。残余气体分析仪将改进工艺的关键因素，以及故障分析等。此外，其目的还体现在减少湿洗过程中的恢复时间、优化维护过程管理周期等方面。上述多种因素相互影响，相互作用，最终达到质量和良率的提高，增加实际生产工时，降低成本和浪费，提高产出率。这一因素促进了残余气体分析仪市场的发展。

不利因素：

1、残留气体分析仪的局限性

虽然RGA在不影响其真空环境的气体成分的情况下测量残余气体水平，但存在两个明显的限制：首先，腔室中的水脱气、电极中的H2脱气以及所使用的大多数300系列不锈钢的脱气（由于温度大于1300°C）热阴极；其次，电子激发解吸(ESD)，其特征是在12、16、19和35amu处观察到峰值，而不是气体种类的电子碰撞电离。这经常通过电离器镀金来解决。但是，这会减少许多气体的吸附；或者，可以使用镀铂钼离子发生器。这种限制可能会阻碍其市场的发展。

2、部分原材料价格波动

原材料市场的波动影响了残余气体分析仪的增长市场。供需变化、货币波动、进出口关税等诸多因素影响着发展中国家残留气体分析仪的增长。此外，政府征收的关税标准和进口关税也会影响残余气体分析仪制造商所需原材料的价格。

9.6 政策和标准规范

9.6.1 重点领域的政策支持

1、《计量发展规划（2021-2035年）》

2021年12月31日，国务院印发了《计量发展规划（2021-2035年）》，提出“加强高端仪器设备核心器件、核心算法和核心溯源技术研究，推动关键计量测试设备国产化。加强色谱仪、质谱仪等高端通用仪器设备研制，加快面向智能制造、环境监测、国防等领域专用计量仪器仪表的研制和推广使用。培育具有核心技术和核心竞争力的国产仪器仪表品牌。”《规划》为我国色谱仪、质谱仪等高端通用仪器的发展指明了方向，促进了国产仪器仪表的加速崛起。

2、《“十四五”生态环境监测规划》

生态环境部于2022年1月发布的《“十四五”生态环境监测规划》，提出“在全国地级及以上城市设置1734个国家城市空气质量监测站点，实时监测PM2.5等主要污染物，支撑全国空气质量评价、排名与考核。研究完善空气质量监测评价体系，推进国家空气质量监测监管向区县延伸，京津冀及周边区域重点区县加密设置279个监测站点”。十四五期间，通过综合标准站、微型站、单指标站、移动站等多种模式，实现县城和污染较重乡镇全覆盖，推动大气监测设备市场进一步下沉，也将带动残留气体分析仪的需求。

3、《减污降碳协同增效实施方案》等

近年来，碳减排、碳达峰目标的提出为空气污染治理注入新动能，2022年生态环境部等六部门制定了《减污降碳协同增效实施方案》，提出基于环境污染物和碳排放高度同根同源的特征，进一步优化治理路线，要求到2030年，大气污染防治重点区域碳达峰与空气质量改善协同推进取得显著成效，推动减污降碳协同增效。

生态环境部发布的《非道路移动机械用柴油机排气污染物排放限值及测量方法（中国第三、四阶段）》（GB20891—2014）第四阶段排放标准已于2022年12月生效实施，所有生产、进口和销售的560kW以下（含560kW）非道路移动机械及其装用的柴油机应符合非道路移动机械“非四”标准，为符合机动车及非道路移动机械尾气排放检测标准，机动车尾气后处理系统产业迅速发展，具备发动机尾气O2及NOx传感器批量制造能力的厂商正迎来广阔的国产化替代契机。在乘用车领域，混合动力（含增程技术）汽车呈现出高速增长势头。混合动力系统既包含内燃机，也包含动力电池。在继续保留高温气体传感器的同时，还增加电池安全监测传感器，混合动力汽车的增长进一步推动高温气体传感器和电池安全监测传感器的发展；在商用车领域，柴油机在相当长的时间内将继续作为主要动力源。

2022年11月，欧盟委员会正式公布了“欧洲第七阶段排放标准”提案，参照“欧七”排放标准及技术路线，未来若“国七”颁布实施，柴油机后处理系统会更加复杂，并有可能引入双喷尿素系统。

上述政策对机动车、非道路机械、船舶、工业企业废气排放标准加严，对残余气体分析仪的技术原理、检测范围、检测精度等提出进一步要求，为残余气体分析仪生产厂商带来增量市场需求。

4、《环保装备制造业高质量发展行动计划（2022-2025年）》

工业和信息化部等部门于2022年1月发布《环保装备制造业高质量发展行动计划（2022-2025年）》，提出“推动环境监测仪器仪表专用光学气体传感器、电子芯片、色谱检测单元等产品研发”。环保装备制造业的高质量发展也将带动残余气体分析仪行业的发展。

5、《工业领域碳达峰实施方案》

工业和信息化于2022年7月发布的《工业领域碳达峰实施方案》，提出“以水泥、钢铁、石化化工、电解铝等行业为重点，聚焦低碳原料替代、短流程制造等关键技术，推进生产制造工艺革新和设备改造，减少工业过程温室气体排放”。随着我国水泥、钢铁、石化化工等装置大型化和整体装备水平提升，以及在节能降耗、治污减排和安全生产方面要求的提高，残余气体分析仪的重要性和使用量与日俱增，我国相关企业也正在逐步加大在残余气体分析仪投入力度，对国产化高端残余气体分析仪器刚性需求会进一步增加。

6、《碳达峰碳中和标准计量体系建设实施方案》

2023年上半年，全国各地陆续推出《碳达峰碳中和标准计量体系建设实施方案》，明确各重点领域标准计量体系建设实现路径，提升标准、计量支撑保障能力和水平。加强煤炭、石油天然气、电力、钢铁、建材、有色金属、石油化工、交通运输、建筑、农业农村、林业草原、城乡建设等重点行业和领域碳计量技术研究，推动重点行业碳排放相关计量器具合理配备和使用。开展碳排放数据质量验证与评价方法研究，提升碳排放数据准确性和一致性，探索推动重点领域由宏观“碳核算”向精准“碳计量”转变，进一步促进环境监测、工业过程领域的市场需求得到释放。政策的持续落地推进重点行业大气污染深度治理与节能降碳行动，推动钢铁、水泥、焦化行业及锅炉超低排放改造，促进环境监测、工业过程领域的市场需求进一步释放。

9.6.2 行业标准规范

在国际标准分类中，残余气体分析仪涉及到管道部件和管道。在中国标准分类中，残余气体分析仪涉及到环境监测仪器及其成套装置、基础标准与通用方法。据统计，涉及残余气体分析仪的标准有4条，均为美国材料与试验协会所发布关于残余气体分析仪的标准。残余气体分析仪相关现行标准情况如下：

图表：残余气体分析仪相关现行标准情况

资料来源：彦心咨询整理，2023年12月

10 研究成果及结论

由于半导体行业的特殊性，芯片的制造、加工工艺非常复杂。半导体工业生产中，从单片到制成最终产品，需经历数十甚至上百道工序，随着制程技术层次的提升、复杂度的增加，单片成本不断上涨，意外或异常现象造成的生产损失也变得相对严重。为加强电子器件的高品质管控，大幅减少产品缺陷率，助力半导体企业提升良率和生产效率，在制造过程中导入残余气体分析仪，成为半导体制程工艺中一种行之有效的检测手段。

残余气体分析仪作为线上同步制程监测工具，是质谱仪massspectrometer的一个分支。质谱分析是一种将化学物质转化为气相离子，利用运动离子在电场和磁场中偏转原理，分离不同质荷比（mass-to-chargeratio质量-电荷比）离子的检测分析方法。每种气体分子的质量具有唯一性，即物质的指纹谱特点。通过测量电离气体分子的质量数，可以精确识别气体分子的种类。每种质量数的离子信号强度决定了这种气体的分压强，或者混合气体组份中这种气体的含量。

通过动态分析真空系统中各种气体分压强的变化，可以有效监控真空环境工艺的条件，为各种真空工艺达到可测、可控、可重复提供了有效的工具。RGA因具有强大的快速定性能力和高灵敏度，其必须性被一再地认可。

随着科技的发展和环保需求的提高，残余气体分析仪的未来发展趋势主要表现在以下几个方面：

更高的分析精度：随着分析技术的发展，残余气体分析仪的分析精度将会越来越高，能够更准确地检测和分析气体中的残余成分。

更广泛的应用领域：随着人们对环保意识的提高，残余气体分析仪的应用领域将会更加广泛，不仅局限于环保、能源、化工等领域，还可能拓展到医疗、食品等其他领域。

更强的智能化：随着人工智能技术的发展，残余气体分析仪将会更加智能化，能够自动完成采样、预处理、分析和显示等步骤，大大提高了工作效率。

2022年全球残留气体分析仪（RGA）市场销售额达到了2.8亿美元，预计2029年将达到3.36亿美元。地区层面来看，中国市场在过去几年变化较快，2022年市场规模为2.05亿元，预计2029年将达到3.29亿元。

全球残留气体分析仪核心厂商有英福康、爱发科、MKS，全球前三大厂商共占有46.4%的市场份额，其中最大的生产商为英福康，占比为27.99%。全球产地主要分布在北美、欧洲、中国、日本和韩国。在产品类型方面，1-100 amu是最大的细分，市场份额占47.04%。就应用而言，最大的应用是工业应用，其份额约为74%。Q

984753543